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一种GaN基发光二极管外延片的生长方法技术
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文档序号:15439744
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本发明公开了一种GaN基发光二极管外延片的生长方法,属于半导体技术领域。所述生长方法包括:在衬底上依次外延生长缓冲层、未掺杂GaN层、N型GaN层、应力释放层、多量子阱层、P型电子阻挡层、P型GaN层;其中,所述应力释放层包括依次生长的第一...
该专利属于华灿光电(浙江)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华灿光电(浙江)有限公司授权不得商用。
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