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一种MEMS全向振动传感装置制造方法及图纸
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下载一种MEMS全向振动传感装置的技术资料
文档序号:15435750
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本发明公开了一种MEMS全向振动传感装置,包括基座、印刷电路板、MEMS级三轴电容式加速度计、MEMS级三轴磁阻传感器和三维加速度传感器,所述基座是球形的,且由灌封材料组成,所述MEMS级三轴电容式加速度计安装于基座的重心位置处,用于三维全...
该专利属于罗雷所有,仅供学习研究参考,未经过罗雷授权不得商用。
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