下载同面共享电极型差动压力传感探头及其研制方法的技术资料

文档序号:15433527

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本发明涉及一种同面共享电极型差动压力传感探头及其研制方法,属于测量技术领域。同面共享电极型差动压力传感探头包括由覆合有三条金属电极的绝缘薄膜构成的电极层、压阻材料层和高分子层。压阻材料层包括横跨在第一条边缘电极和中间电极之间负压阻系数敏感膜...
该专利属于中南大学所有,仅供学习研究参考,未经过中南大学授权不得商用。

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