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基于宽带光谱域显微干涉术的近红外位移传感装置及微位移量测量方法制造方法及图纸
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下载基于宽带光谱域显微干涉术的近红外位移传感装置及微位移量测量方法的技术资料
文档序号:15432870
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本发明提供一种基于宽带光谱域显微干涉术的近红外位移传感装置,包括宽带光源、柯勒照明系统、显微镜筒、干涉物镜、精密电控平台、短波截止滤光片、SMA905光纤接头、光纤、光谱仪、计算机和。光路结构沿光路行进方向依次是宽带光源、柯勒照明系统、显微...
该专利属于南京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京理工大学授权不得商用。
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