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本实用新型提供了一种用于硅片散热的散热装置，散热装置包括相对的两端向外开口的风道，风道中设置有用于放置石英舟的载物台，石英舟用于放置硅片，台面上开设有多个均匀布置的通风孔，风道的相对的两端分别设置有送风系统和排气系统，送风系统和排气系统相配...
该专利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州阿特斯阳光电力科技有限公司授权不得商用。

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