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本实用新型涉及一种改善湿法刻蚀脏污的装置，包括水洗槽、烘干槽和出料槽，硅片通过传送滚轮的传送依次通过水洗槽、烘干槽及出料槽，所述烘干槽中沿硅片的传送方向间隔设置有烘干风刀；在所述水洗槽与烘干槽中第一道烘干风刀之间设置有隔断罩；所述隔断罩上对...
该专利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州阿特斯阳光电力科技有限公司授权不得商用。

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