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本实用新型公开一种电化学电镀设备，所述电化学电镀设备包括至少一个用于对晶片进行电镀工艺的电镀模块、至少一个用于对晶片进行晶片斜边清洗工艺的边缘金属清洗模块、至少一个用于隔离电镀模块和边缘金属清洗模块的工作空间的隔离部件。通过增设隔离部件实现...该专利属于中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。