下载一种单晶薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:15426167

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本发明公开了一种单晶薄膜的制备方法,涉及单晶薄膜制备技术领域,具体是指对具有特定形状的非晶薄膜进行热处理来制备单晶薄膜的方法。首先在基板上形成非晶薄膜;然后对上述薄膜进行加工形成三段形状;再通过热处理、激光照射、微波处理或电磁辐射加热等手段...
该专利属于陕西科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过陕西科技大学授权不得商用。

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