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一种p型NiMSnO非晶氧化物半导体薄膜及其制备方法技术
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下载一种p型NiMSnO非晶氧化物半导体薄膜及其制备方法的技术资料
文档序号:15425836
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本发明公开了一种p型NiMSnO非晶氧化物半导体薄膜,其中NiMSnO中的M元素具有较低的标准电势,与O有高的结合能,M与O形成的氧化物为高阻氧化物、且其禁带宽度大于3eV,M为Be、Mg、Ca、Sr、Ba、B、Al、Ga、In、Sc、Y、...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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