下载一种进抽气两用石英管及扩散装置的技术资料

文档序号:15421012

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本实用新型公开了一种进抽气两用石英管及扩散装置;进抽气两用石英管包括管体,管体的前端设置有球碗结构,管体的后端封闭,管体的中部沿其轴向设置有若干个气孔,若干个气孔的直径沿管体的轴向从前到后呈阶梯型增大,相邻的两个气孔的间距沿管体的轴向从前到...
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