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本实用新型涉及磁控溅射技术领域，公开了一种磁控溅射屏蔽罩和磁控溅射设备，用以提高磁控溅射屏蔽罩拆卸和安装的方便性。一种磁控溅射屏蔽罩，包括：第一本体和第二本体，第一本体和第二本体拆卸连接以形成可罩扣在阴极靶上的罩体，且第一本体和第二本体均与...
该专利属于新奥光伏能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新奥光伏能源有限公司授权不得商用。

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