下载多晶硅还原炉的绝缘组件的技术资料

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一种多晶硅还原炉的绝缘组件,包括石墨支撑底座,石墨支撑底座包括第一导电臂和第二导电臂。多晶硅还原炉的绝缘组件还包括绝缘支撑台,该绝缘支撑台包括用于支撑第一导电臂的第一支撑臂和用于支撑第二导电臂的第二支撑臂。本发明的多晶硅还原炉的绝缘组件,对...
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