下载一种基板处理装置及其处理方法的技术资料

文档序号:15412654

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本发明涉及平板显示技术领域,尤其涉及一种基板处理装置及其处理方法。基板处理装置至少包括一传送机构、一倒角机构以及一变频器;传送机构用于装载并输送基板;倒角机构相邻设置于传送机构至少一侧,传送机构将基板输送通过倒角机构;变频器用于监测调节倒角...
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