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公开了具有变化性质的电容式微加工超声换能器。在一些示例中，CMUT阵列可包括多个元件，并且每个元件可包括多个子元件。例如，第一子元件和第二子元件可被设置在第三子元件的相对两侧上。在一些情况下，第三子元件可被配置成以比第一子元件或第二子元件中...
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