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本发明涉及可用于在低表面能聚合物基底上制备负性色调永久性光致抗蚀剂浮雕图案的永久性环氧光致抗蚀剂组合物，其包含：（A）一种或更多种根据式I至VI的环氧树脂；（B）一种或更多种阳离子光引发剂；（C）一种或更多种铸膜溶剂和（D）一种或更多种含氟...
该专利属于微量化学公司所有，仅供学习研究参考，未经过微量化学公司授权不得商用。

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