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本发明提供一种等离子体未点火状态判别装置和等离子体未点火状态判别方法。在基于反射波的等离子体的未点火状态的检测中，防止正常的等离子体点火时的误检测，检测等离子体异常时的未点火状态。在从高频电源通过脉冲驱动对等离子体负载供给脉冲输出时，根据反...
该专利属于株式会社京三制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社京三制作所授权不得商用。

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