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本发明公开了一种压电薄膜体声波谐振器及其制备方法，包括衬底、空气腔、底电极层、压电层与顶电极层。该谐振器使用石墨烯作为器件的电极层，在该器件结构中无需使用支撑层，石墨烯底电极层与衬底的凹槽形成空气腔。底电极层上设置压电层，压电层上设置顶电极...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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