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本发明涉及用于测量半导体装置中阿尔法粒子所诱发软错误的方法及装置，该装置包括探针卡、阿尔法粒子源以及挡板。探针卡包括多个接触组件，而接触组件界定测量位置；阿尔法粒子源；以及挡板，配置在该阿尔法粒子源与该测量位置之间，而该挡板可在该开启位置与...
该专利属于格罗方德半导体公司所有，仅供学习研究参考，未经过格罗方德半导体公司授权不得商用。

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