温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种激光退火装置包括：激光退火单元，用于对所述加工对象进行激光退火；反射率检测单元，用于检测与分析所述加工对象的表面状态；工件台，用于放置一加工对象；其中，所述激光退火单元包括：激光器、扩束系统、匀光系统、分光系统、聚焦系统。本...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。