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本发明涉及一种用于生成可听波长谱中的声波的MEMS扬声器(1)，其具有：载体衬底(2)，其具有拥有两个衬底开口(7，8)的衬底空腔(6)，所述衬底开口(7，8)被构造在载体衬底(2)的两个相对的侧；执行器结构、尤其是压电执行器结构(3)，其...
该专利属于悠声股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过悠声股份有限公司授权不得商用。

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