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用于表征仪表误差的方法和装置制造方法及图纸
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下载用于表征仪表误差的方法和装置的技术资料
文档序号:15396833
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一种用于表征表面测量仪表中的仪表误差的方法,包括获得表示第一参考对象的已知表面形式的第一校准测量数据,和获得表示第二参考对象的已知表面形式的第二校准测量数据。第二校准测量数据的至少一部分表示测量范围,其与第一校准测量数据的测量范围的至少一部...
该专利属于泰勒-霍普森有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过泰勒-霍普森有限公司授权不得商用。
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