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一种基于载流子诱导波导光栅的硅基可调谐激光器制造技术
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下载一种基于载流子诱导波导光栅的硅基可调谐激光器的技术资料
文档序号:15394003
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一种基于载流子诱导波导光栅的硅基可调谐激光器,涉及光电子器件技术领域,其主旨在于解决现有技术中利用外腔光栅结构的激光器调谐输出波长过程复杂、调谐速度慢、结构尺寸较大、制作成本较高和难与硅基器件集成等问题。包括从下至上依次设置的衬底(1)、缓...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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