下载一种提升发光效率的LED外延生长方法的技术资料

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本发明公开一种提升发光效率的LED外延生长方法,包括:处理衬底、ZnGaN层、Mg和Si共掺杂GaN层、AlN层、生长掺杂Si的N型GaN层、生长In...
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