下载内衬直管和多孔挡板复合型的多级磁场电弧离子镀方法的技术资料

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内衬直管和多孔挡板复合型的多级磁场电弧离子镀方法,属于材料表面处理技术领域,本发明为解决多级磁场过滤装置中大颗粒及沉积离子对管内壁污染和电弧等离子体传输过程中的损失问题。本发明方法包括:一、将待镀膜的工件置于真空室内的样品台上,接通相关电源...
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