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在键合前清洗键合表面的方法技术
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下载在键合前清洗键合表面的方法的技术资料
文档序号:15355510
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本发明提供了一种在键合前清洗键合表面的方法,包括如下步骤:提供两个用于键合的第一表面和第二表面,所述第一表面为非晶表面,第二表面为晶体表面;在键合前采用氨水分别清洗所述第一表面和第二表面,清洗所述第一表面所采用的氨水浓度和清洗温度两个参数中...
该专利属于上海新傲科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海新傲科技股份有限公司授权不得商用。
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