下载一种多晶硅片用贴合夹具的技术资料

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本实用新型公开了一种多晶硅片用贴合夹具,包括:一主支架,所述主支架内安装有控制芯片;两副支架,两所述副支架垂直对称的安装在所述主支架的两侧;两伸缩杆,两所述伸缩杆分别安装在两所述副支架上,所述伸缩杆顶端安装有机械爪,所述机械爪由若干连接件组...
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