下载一种多晶硅片用夹具的技术资料

文档序号:15346412

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本实用新型公开了一种多晶硅片用夹具,包括:圆形支架、抽气管和吸盘,所述抽气管安装在所述圆形支架上;所述圆形支架顶端设有圆孔,所述抽气管贯穿所述圆孔,所述抽气管外壁设有齿条,所述圆孔上端安装有电机,所述电机上安装有齿轮;所述吸盘与所述抽气管相...
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