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本发明提供一种静电卡盘装置，其通过静电吸附用电极吸附板状试样，并且对板状试样进行冷却，所述静电卡盘装置具有静电卡盘部，所述静电卡盘部以陶瓷烧结体为形成材料，所述静电卡盘部的一个主面是载置板状试样的载置面，在载置面设置有支承板状试样的多个突起...
该专利属于住友大阪水泥股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过住友大阪水泥股份有限公司授权不得商用。

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