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本发明公开了一种MEMS发声装置及电子设备，在衬底上通过沉积、刻蚀的方式设置有背极、振膜，所述背极、振膜之间通过绝缘层进行支撑；所述衬底上设置有与背极、振膜对应设置的背腔；所述背极、振膜被配置为：在背极、振膜上施加交流电信号，以在背极与振膜...
该专利属于歌尔股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔股份有限公司授权不得商用。

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