下载高压BCD器件的技术资料

文档序号:15332465

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本发明公开了一种高压BCD器件,在衬底中具有N型深阱,N型深阱中具有P阱,源区位于P阱中,源区及漏区之间的衬底表面具有场氧,靠P阱的一侧场氧上及靠P阱的衬底上具有多晶硅栅极,所述场氧下的衬底中,还具有P型注入层,其特征在于:所述P型注入层为...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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