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本发明提供了一种低干扰电感结构的制造方法，包括：提供一衬底，并在所述衬底的上表面形成一沟槽；在所述沟槽底部形成第一电感结构，所述第一电感结构包括第一中间电极、第一边缘电极、第一电感图案、连接所述第一中间电极与所述第一电感图案的第一导电通孔以...
该专利属于南通沃特光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通沃特光电科技有限公司授权不得商用。

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