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一种接触孔清洗的方法，包括：提供基底，所述基底中具有接触孔；对所述基底和所述接触孔进行润湿处理；进行润湿处理后，采用硫酸和双氧水的混合溶液清洗所述接触孔。所述接触孔清洗的方法提高了对接触孔清洗的效果。...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。