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本发明公开了一种外延片曝光装置,包括影像定准器,影像定准器顶部设有数字电子偏振画面捕捉结构,数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间安装有曝光灯,数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间通过可调节装置连接,影像定准器底部位于一操作平台上,影...该专利属于东莞唯度电子科技服务有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞唯度电子科技服务有限公司授权不得商用。
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