下载外延片曝光装置的技术资料

文档序号:15328177

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种外延片曝光装置,包括影像定准器,影像定准器顶部设有数字电子偏振画面捕捉结构,数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间安装有曝光灯,数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间通过可调节装置连接,影像定准器底部位于一操作平台上,影...
该专利属于东莞唯度电子科技服务有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞唯度电子科技服务有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。