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一种银引入氮化铪膜高红外反射耐久材料制造技术
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文档序号:15327902
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本发明提供一种新型银引入氮化铪膜高红外反射耐久材料,涉及红外反射膜材料领域,该材料是由HfN和Ag组成的HfN‑Agx膜,该HfN‑Agx膜具有HfN包含Ag的固溶体结构,Ag的含量为0.8‑3.8at.%,其制备方法为:选取硅片或玻璃基底...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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