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玻璃平整度检测仪及检测方法技术
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文档序号:15325882
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本发明公开了一种玻璃平整度检测仪,包括:光源、与所述光源相连接的光纤耦合器、以及分别与所述光纤耦合器的另三个端口相连接的参考端、样品端和数据采集及处理装置;本发明利用待测玻璃表面上的点为凸起或凹陷时与平整的点所对应的深度值不相等而引起低相干...
该专利属于佛山科学技术学院所有,仅供学习研究参考,未经过佛山科学技术学院授权不得商用。
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