下载一种氮化铝单晶生长方法的技术资料

文档序号:15321981

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本发明公开了一种氮化铝单晶生长方法,长晶时的温度曲线和压力曲线简单可控;在氮化铝烧结体表面进行长晶,生长得到的氮化铝单晶体内部几乎无缺陷;通过采用钨材料制备坩埚,杂质引入极少;能够得到最大尺寸为厘米级的氮化铝单晶;长晶成本较低。...
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