下载一种多层嵌套X射线聚焦光学的装调系统和装调方法的技术资料

文档序号:15296515

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本发明提供了一种多层嵌套X射线聚焦光学的装调系统和装调方法,旨在解决现有装调系统在装配过程中使用机械模具对玻璃镜片造成损伤,且装配精度不理想的问题。装调系统包括由装配架、用于调节玻璃镜片姿态的六维调节装置、玻璃连接柱、用于调节聚焦光学整体姿...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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