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本发明提供一种激光辅助氮化镓晶体化学机械抛光方法,其中,所述激光辅助氮化镓晶体化学机械抛光方法至少包括如下步骤:S1,采用激光对所述氮化镓晶体的表面进行照射修饰;S2,在化学腐蚀与机械研磨的作用下对照射修饰后的所述氮化镓晶体进行抛光和表面平...该专利属于镓特半导体科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过镓特半导体科技(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种激光辅助氮化镓晶体化学机械抛光方法,其中,所述激光辅助氮化镓晶体化学机械抛光方法至少包括如下步骤:S1,采用激光对所述氮化镓晶体的表面进行照射修饰;S2,在化学腐蚀与机械研磨的作用下对照射修饰后的所述氮化镓晶体进行抛光和表面平...