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从酸性铜电镀浴液向衬底上的通孔中电镀铜的方法技术
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下载从酸性铜电镀浴液向衬底上的通孔中电镀铜的方法的技术资料
文档序号:15268899
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含有伯醇烷氧基化物嵌段共聚物和环氧乙烷/环氧丙烷无规共聚物且具有特定HLB范围的铜电镀浴液适于用铜填充通孔,其中此类铜沉积物基本上无空隙并且基本上无表面缺陷。...
该专利属于罗门哈斯电子材料有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗门哈斯电子材料有限责任公司授权不得商用。
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