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磁轴承装置及转子旋转驱动装置制造方法及图纸
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文档序号:15263907
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本发明提供一种磁轴承装置及转子旋转驱动装置,能够低成本地实现振动减少。磁轴承装置包括:磁轴承,对受到无传感器马达旋转驱动的转子进行磁悬浮支撑;位移传感器(49),检测转子的从悬浮目标位置算起的位移,并输出位移信号;振动补偿部(416),基于...
该专利属于株式会社岛津制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。
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