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一种晶圆级电子元器件;在硅片晶圆基板(1)上布置有激光发射装置(2)、反射镜(3)、集成电路(4)且上述三者皆被封装在由玻璃晶圆镜头(5)、硅晶圆对峙架(6)和硅片晶圆基板(1)共同封闭的封装内腔(7)中;硅片晶圆基板(1)槽底布置有激光发...该专利属于罕王微电子(辽宁)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罕王微电子(辽宁)有限公司授权不得商用。
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一种晶圆级电子元器件;在硅片晶圆基板(1)上布置有激光发射装置(2)、反射镜(3)、集成电路(4)且上述三者皆被封装在由玻璃晶圆镜头(5)、硅晶圆对峙架(6)和硅片晶圆基板(1)共同封闭的封装内腔(7)中;硅片晶圆基板(1)槽底布置有激光发...