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基于激光改变硅基表面形态并控制成型技术的研究方法技术
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文档序号:15256658
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本发明公开了一种基于激光改变硅基表面形态并控制成型技术的研究方法,其按如下步骤:步骤一:硅基板的第一端固定;步骤二:激光照射硅基板的第二端,硅基板第二端形成凸起形貌;步骤三:测量硅基板凸起形貌的最大高度H以及最大直径D,通过以下公式计算硅基...
该专利属于杭州电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过杭州电子科技大学授权不得商用。
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