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本发明一种基于光强调制型MOEMS加速度计属于微电子系统领域，解决了现有传感器在特殊情况下存在电磁干扰的问题，采用的技术方案为：包括从下到上依次设置的衬底层、中间层以及器件层，其特征在于：器件层中部设置有质量块，质量块通过四个直连接梁固支于...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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