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本发明属于静电纺丝纳米纤维场效应晶体管制备技术领域，涉及一种UV光前处理制备氧化铟/氧化铝纳米纤维场效应晶体管的方法；其工艺步骤主要包括：制备Al2O3高k介质薄膜、制备纳米纤维、UV光处理、高温煅烧、光刻定型和离子束沉积源漏电极；其基于A...
该专利属于青岛大学所有，仅供学习研究参考，未经过青岛大学授权不得商用。

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