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有机卤代硅烷的制备制造技术
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下载有机卤代硅烷的制备的技术资料
文档序号:1523703
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一种制备有机卤代硅烷的方法,它包括以下步骤:向反应器内引入含金属硅粒和铜催化剂的接触物质,和向反应器内引入含有机卤化物的气体原料,进行反应,形成有机卤代硅烷,其特征在于控制气体原料内的有机卤化物气体的分压,以保持反应器内基本上恒定的温度。...
该专利属于信越化学工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。
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