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本发明提供一种用于超净台的电极探入装置，包括高压电极杆以及用于将高压电极杆限位在台面上的锁紧机构，该锁紧机构包括固定法兰、密封法兰、两侧锁紧螺杆，以及设置在固定法兰与密封法兰之间的动密封连接件，所述高压电极杆依次穿过台面、固定法兰和密封法兰...
该专利属于合肥优亿科机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥优亿科机电科技有限公司授权不得商用。

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