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本发明公开了一种磁约束真空离子镀膜装置，包括设有离子镀膜腔和电子回旋共振放电腔的真空容器，所述电子回旋共振放电腔为利用电子回旋共振技术的微波等离子体源,所述离子镀膜腔外侧包含约束腔内等离子体的磁体阵列。还包括有水冷循环和气体循环，电磁线圈控...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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