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公开了一种三自由度MEMS静电活塞管致动器。该致动器包括两个结构。一个结构包括：多个固定的活塞状电极，所述多个固定的活塞状电极附接到基座，并且形成致动器的定子。第二结构包括多个移动的管状电极，所述多个移动的管状电极附接到上部结构的主体并形成...
该专利属于费斯·巴-提斯;里哈德·本-马德所有，仅供学习研究参考，未经过费斯·巴-提斯;里哈德·本-马德授权不得商用。

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