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本发明公开了一种新型晶圆转移装置，其包括支撑平台、托盘、第一机械臂和第二机械臂；所述支撑平台设置有通孔；所述托盘可升降地设置，所述托盘可自所述通孔穿过所述支撑平台地设置；所述第一机械臂与所述第二机械臂相用于共同夹持晶圆；所述第一机械臂与所述...
该专利属于上海新阳半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新阳半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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