下载非球面模具的在位测量系统及其测量方法和测量检验方法的技术资料

文档序号:15219953

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本发明公开了一种非球面模具的在位测量系统,包括接触探针、气浮轴承、光学干涉系统、图像采集处理系统和软件处理系统,所述光学干涉系统包括:一个光源、一个激光扩束系统、一个猫眼反射镜、两个反射镜、一个偏振分光镜、一个1/2λ波片、三个1/4λ玻片...
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